环氧乙烷灭菌器消字号卫生许可证的颁发流程一般包括以下步骤：

1. 准备资料：

   - 提交详细的申报目录，列明所有需要提交的材料。

   - 准备卫生许可申请报告，明确申请环氧乙烷灭菌器消字号卫生许可证的原因、目的等。

   - 提供生产厂区的平面图和车间布局平面图，展示生产设施的布局和卫生条件。

   - 提供产品目录及生产工艺、流程图，说明环氧乙烷灭菌器的生产工艺和流程。

   - 提交生产环境及生活用水检验报告，生产环境和生活用水符合卫生标准。

   - 列出主要生产设备、检验仪器清单，并详细说明设备名称、具体型号和产地以及当下的工作状态。

   - 提供质量保障体系文件，证明企业具备完善的质量管理体系。

   - 提供卫生管理人员及检验人员名单、管理人员健康证明、资格证书等，证明企业具备相应的管理和检验能力。

   - 提交工商营业执照复印件，证明企业的合法经营资格。

2. 提交申请：将上述准备好的所有资料提交给所在地的省级卫生行政部门或相关。

3. 资料审查：卫生行政部门或相关会对提交的资料进行详细的审查，资料齐全、真实、有效，并符合相关的法律法规和标准。

4. 现场检查：在资料审查通过后，卫生行政部门或相关会组织专家对生产现场进行检查，评估企业的生产条件、设备、工艺、管理等是否符合要求。

5. 审批与发证：如果现场检查通过，且所有资料都符合要求，卫生行政部门或相关会进行较后的审批，并颁发环氧乙烷灭菌器消字号卫生许可证。

6. 公示与备案：部分地区可能还需要将颁发的卫生许可证进行公示和备案，以证书的真实性和有效性。

需要注意的是，具体的办理流程和所需材料可能因地区和政策的不同而有所差异。因此，在办理之前，建议详细咨询当地的卫生行政部门或相关，以你能够按照正确的流程和标准进行操作。